近日，民生证券首次覆盖了芯源微，并在研报中表示，其为半导体设备国产之光，百亿市场待替代。预计公司2021-2023年收入分别为6.5/10/14.5亿元，对应归母净利润0.92/1.7/2.2亿元，对应估值119/65/49倍。

  消息面上，公司发布2021年度向特定对象发行A股股票预案。公司拟定增不超过2520万股，募集资金不超过10亿元，用于上海临港研发及产业化项目、高端晶圆处理设备产业化项目(二期)和补充流动资金。

  据悉，上海临港项目总投资6.4亿元，拟投入募资4.7亿元，大多数都用在研发与生产前道ArF光刻工艺涂胶显影机、浸没式光刻工艺涂胶显影机及单片式化学洗涤机等高端半导体专用设备。高端晶圆(二期)项目总投资2.89亿元，拟投入募资2.3亿元，大多数都用在前道I-line与KrF光刻工艺涂胶显影机、前道Barc(抗反射层)涂胶机以及后道先进封装Bumping制备工艺涂胶显影机。

  民生证券觉得，两大募投项目的实施有利于公司扩充产能，并在前道先进制程设备实现进一步突破，强化公司在高端设备领域的技术优势并丰富产品结构，逐步提升盈利能力。

  沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业。作为国内唯一能提供中高端涂胶显影设备的企业，连续承担国家重大专项，产品有涂胶显影和清洗机等，覆盖晶圆加工前道、封装以及后道小尺寸环节，客户涵盖台积电/中芯/长鑫/华天/华力等主流厂商。

  光刻是将掩膜版上的图案转移到硅片的步骤，因为其决定集成电路关键尺寸的原因，成为集成电路制造中核心步骤之一。光刻工艺一共有八步，各为脱水烘烤、旋转涂胶、软烘、曝光、曝光后烘烤、显影、坚膜烘烤、显影检查。

  涂胶显影设备是光刻工序中与光刻机配套使用的涂胶、烘烤及显影设备，包括涂胶机/显影机和喷胶机，其中前者占芯源微涂显设备营收大头。

  在光刻工序涂胶显影设备领域，主要企业有日本东京电子、日本迪恩士、德国苏斯微、台湾亿力鑫、韩国CND等，其中东京电子以绝对的市场以90%左右的市占率成为第一，而芯源微目前在国内只有4%的市占率。

  受益于下游厂商大幅扩产和国产替代力度加大，民生证券预计2025年国内涂胶显影+清理洗涤设施市场空间达160亿元，公司去年收入3亿多，国产替代空间巨大。

  另外，目前公司在手订单爆满，部分订单已经排到明年，公司持续扩产，21Q4沈阳一期新产能投入到正常的使用中，后续储备临港+沈阳二期产能，合计是目前产能的四倍。

  开源证券也在研报中表示，公司短期来看订单饱满，产能供不应求，长期公司前道设备已有突破，打破TEL对涂胶显影机的垄断，市场空间进一步放大。

  不过证券之星认为，芯源微目前在国内的市占仍比较低，要想成为半导体设备的“国产之光”，还有相当长的路要走。

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