：/37.2%；归母净利润分别为2.73/3.96/5.64亿元，增速分别为36.6%/44.8%/42.6%；对应PE分别92.5/63.9/44.8。考虑到芯源微为国内可提供量产型前道涂胶显影机稀缺性标的，且前道涂胶显影设备完成在晶圆加工环节28nm及以上工艺节点全覆盖，叠加美国政策限制。”

  1.事件点评：芯源微发布2022年度报告及2023年一季报，2022年实现盈利收入13.85亿元，同比增长67.12%；归母纯利润是2.00亿元，同比增长158.77%；扣非归母净利润1.37亿元，同比增长114.99%；毛利率为38.40%，同比增长0.32pcts；净利率为14.45%，同比增长5.12pcts，2022年业绩符合预期。

  3.光刻工序涂胶显影设备及单片式湿法设备为公司主要收入贡献者，合计占比超90%。

  4.2022年光刻工序涂胶显影设备营收为7.57亿元，同比增长49.55%，占营收54.67%，毛利率为34.65%；单片式湿法设备营收为5.50亿元，同比增长89.91%，占营收39.72%，毛利率为39.17%；其它设备营收为0.53亿元，同比增长202.09%，占营收3.84%，毛利率为69.79%。

  5.2022年业绩变化根本原因包括：（1）产品竞争力持续增强，新签订单规模大幅度增长：2022年公司销售订单量较上年有较大幅度增加，光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备销量较上年均有不同程度增长，销量同比增长分别为32.28%、93.85%。

  6.（2）采取积极措施保供保产，实现生产周期与验收周期改善：受益于生产周期与验收周期改善，光刻工序涂胶显影设备产销趋于均衡，2022年产量同比下降2.28%。

  7.单片式湿法设备基于客户不相同需求，产量较上年有所增长，2022年产量同比增长25.74%。

  8.（3）前道加工产品放量，后道封测产品稳健增长：前道涂胶显影机签单实现快速放量，其中offline、I-line、KrF机台均实现批量销售，前道物理清洗机销售近百台套。

  9.公司后道先进封装领域用涂胶显影设备、单片式湿法设备实现批量销售超百台套。

  10.浸没式高产能涂胶显影机完成验证，且顺利实现验收，市场占有率有望提升。

  11.公司浸没式机台已陆续获得国内多家知名厂商订单，超高温Barc机台也成功实现客户导入。

  12.2022年第四季度，首台浸没式高产能涂胶显影机在国内某知名客户处完成验证，并实现验收。

  13.作为公司前道涂胶显影机第三代机型，机台应用了公司独创对称分布高产能架构，搭载自主研发专用机械手，大幅度的提高整机机械传送产能与传送精度，能够匹配全球主流光刻机联机生产。

  14.浸没式机台推出，标志着公司前道涂胶显影设备已完成在晶圆加工环节28nm及以上工艺节点全覆盖，并可持续向更高工艺等级迭代。

  15.国内前道涂胶显影设备市场长期被日本东京电子高度垄断，随公司产品迭代升级，叠加美国限制促使国内晶圆厂使用国产设备意愿加强，国内晶圆厂正加速国产前道涂胶显影机导入进程，公司在国内市场占有率有望实现快速增长。

  16.前道涂胶显影设备多关键技术取得突破，在制造及先进封装领域部分技术达国际先进水平。

  17.公司前道涂胶显影设备在多项关键技术方面取得突破，成功掌握超高温度与超高精度烘烤固化技术、自动光学缺陷检验测试技术等核心技术，可满足更高等级工艺需求；在后道先进封装领域，化学药品精确供给及回收等技术已达到国际领先水平，在化合物、MEMS、LED芯片制造等领域，高产能架构等技术已达到国际先进水平。

  19.考虑到芯源微为国内可提供量产型前道涂胶显影机稀缺性标的，且前道涂胶显影设备完成在晶圆加工环节28nm及以上工艺节点全覆盖，叠加美国政策限制使国产设备导入迎来历史机遇，首次覆盖，给予增持-A建议。

  20.风险提示：下游客户扩厂没有到达预期或产能过剩风险；国产替代进程没有到达预期；公司产品迭代不及预期。

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